| 項目名稱 | 真空鍍膜機 | 項目編號 | **** |
| 公告開始日期 | **** 16:53:26 | 公告截止日期 | **** 18:00:00 |
| 采購單位 | 點擊登錄查看 | 付款方式 | 供方提供貨物至需方指定地點經(jīng)安裝驗收合格，雙方簽字確認后，七個工作日內支付全部貨款。 |
| 聯(lián)系人 | | 聯(lián)系電話 | |
| 簽約時間要求 | | 到貨時間要求 | 按照合同約定執(zhí)行 |
| 預算總價 | ￥ |
| 發(fā)票要求 | |
| 含稅要求 | |
| 送貨要求 | |
| 安裝要求 | |
| 收貨地址 | 點擊登錄查看八里臺校區(qū) |
| 供應商資質要求 | 符合《政府采購法》第二十二條規(guī)定的供應商基本條件 |
| 公告說明 | |
采購清單1
| 采購商品 | 采購數(shù)量 | 計量單位 | 所屬分類 |
| 真空鍍膜機 | 1 | 臺 | |
| 品牌 | 無 |
| 型號 | 無 |
| 預算單價 | ￥ |
| 技術參數(shù)及配置要求 | （一）技術要求 鍍膜設備由真空室腔體，蒸發(fā)源系統(tǒng)，樣品臺系統(tǒng)，真空泵機組，膜厚檢測系統(tǒng)，設備機架，電控系統(tǒng)，手套箱系統(tǒng)組成，真空室前門可與手套箱對接，采用一體化的設計方案，整套設備結構緊湊、布局簡潔，避免實驗設備外觀凌亂的現(xiàn)象。 1.真空室腔體：1套 1) 外形：優(yōu)質304不銹鋼方形前后開門真空室腔體1套，內部尺寸400*360*520mm，后門采用鉸鏈式方門，方便清洗真空腔體，真空室內部調試，維修以及取放物品，前門采用橫拉方門，前后門各配DN100視窗1套； 2) 底部：金屬源接口2套，美國MCVAC水冷膜厚探頭接口1套,CF25照明接口2套； 3) 頂部：樣品臺接口1套，氣動擋板接口2套，GDQ-J16B-KF高真空氣動擋板閥接口1套； 4) 側壁：JTFB-650Z水冷脂潤滑分子泵接口1套，JCDQ-J40B-CF高真空氣動擋板閥接口1套，預留法蘭若干； 5) 腔體漏率：整體漏率優(yōu)于5×10-8Pa.m3/S，保壓12小時，壓強小于10Pa。 2、蒸發(fā)源系統(tǒng)：1套 1) 金屬源2套：水冷銅電極2組，兼容蒸發(fā)舟（鎢、鉬，鉭舟）和螺旋絲，可蒸鍍金屬和氧化物等，采用氣缸擋板，翻蓋開關，直流電源1臺，數(shù)字顯示，蒸發(fā)電源可以通過軟件控制，也可以手動控制，蒸發(fā)電源還可以通過310膜厚儀PID（閉環(huán)控制），可單通道自動調節(jié)蒸發(fā)速率； 2) 隔板：蒸發(fā)源采用隔板分隔，避免交叉污染，部分隔板可免工具拆卸。 3、樣品臺系統(tǒng)：1套 1) 基片旋轉：采用磁流體密封，保證密封可靠性，轉速5～20轉／分，通過觸摸屏控制連續(xù)可調； 2) 基片升降：襯底與蒸發(fā)源間距240-340mm，電動升降，通過觸摸屏控制連續(xù)可調； 3) 基片掛架：可放置6英寸基片1片； 4) 基片擋板：采用磁流體密封，在基片旋轉的任意角度均可擋住或打開，通過軟件控制，旋轉開關，速度平穩(wěn)。 4、真空泵機組：1套 1) VRD-30雙級泵1臺； 2) DDC-JQ40-KF真空電磁充氣閥1臺； 3) KF40泵閥連接軟管1套； 4) GDQ-J40B-KF高真空氣動擋板閥1臺； 5) JTFB-650Z水冷脂潤滑分子泵1臺； 6) CCQ-150CF氣動超高真空插板閥1臺； 7) CDQ-J40B-CF超高真空氣動擋板閥1臺； 8) GDQ-J16B-KF高真空氣動擋板閥1臺； 9) ZDF-5227數(shù)顯真空計1臺（測量范圍：1×105～1×10-8Pa） 5、膜厚檢測系統(tǒng)：1套 1) 膜厚儀：采用SQC310石英晶振膜厚監(jiān)控儀1臺，模式：順序鍍膜，探頭：2通道；顯示以及控制精度：0.01/秒，頻率分辨率0.01Hz，帶有PID環(huán)功能，可通過膜厚儀單通道自動控制蒸鍍速率； 2) 膜厚探頭：美國MCVAC進口水冷膜厚探頭1套，6MHz，采用快速卡扣式結構更換晶振片，避免用螺紋壓緊式結構損壞晶振片，采用膠圈鎖緊密封結構。 6、設備機架：1套 1) 40碳鋼方管焊接機架1套，表面噴塑； 2) 3英寸萬向輪4件，移動調整； 3) M16地腳4件，鎖緊定位。 7、其他電控系統(tǒng)：1套（電氣控制采用設備機架內置） 1) 烘烤照明電源：1臺； 2) 總控制電源1臺，配10英寸觸摸屏，PLC控制器，樣品臺及擋板控制器，蒸發(fā)源擋板控制器，泵閥開關、相序檢測，以及電纜開關接頭等。 8、其他技術參數(shù)： 1) 缺相保護、誤操作保護，聯(lián)動互鎖以及一鍵真空啟停等功能； 2) 供電：～220V單相供電系統(tǒng)（峰值3KW）； 3) 供水：循環(huán)制冷水機，冷卻水溫度17℃～35℃，工作環(huán)境溫度：10℃～40℃； 4) 供氣：小型無油靜音氣泵，提供0.2-0.3MPa氣壓，驅動氣動閥門; 5) 極限真空：優(yōu)于6×10-5Pa，大氣至6×10-4Pa時間小于35分，充干燥氮氣。 （二）服務要求 1) 提供1年的免費保修。 2) 提供現(xiàn)場技術培訓。 |
| 參考鏈接 | |
| 售后服務 | 按國家法定或行業(yè)要求提供售后服務。 |
信息來源：https://www.yuncaitong.cn/publish/****/20MDPQWAYG6VWJ4N.sson
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2025年07月30日
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